功能齐全，操作简易，用途广泛的Zeta-20
特点
ZDotTM专利技术擅于对高粗糙度、低反射率的表面进行成像分析
- 具有防反射涂层的太阳能电池片
- 图形化/蚀刻的LED基板
- 生物微机电、微机电系统和微流体槽
- 透明的多表面样品成像
快速获取数据
- 可配置快于10秒扫一幅三维图像的采集速度
- 简明易学的软件操作界面
强大的三维分析功能
- 台阶高度、粗糙度、面积、体积、角度及其它表面属性
- 数据输出格式与常见的第三方分析软件可兼容
高度的灵活性
测量复杂的表面特征
从深槽到金刚石钢线，Zeta-20强大的成像能力可对各种复杂表面进行测量。通常这些表面由于太粗糙、太暗或是坡度太陡而无法用其它设备测量。
选项配置齐全
在科研过程中所涉及的样品表面类型往往难以预测。因此，Zeta-20使用模块化设计理念，为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求。
·薄膜厚度光谱仪
·可测量纳米级粗糙度的QDIC/Nomarski选项
·iX5干涉物镜
·Z轴分辨率高达2nm的压电陶瓷载台
·倾斜载台和真空吸附卡具
·自动特征提取和测量软件
·自动表面面积测量、统计分析
...以及其它众多选项！
光学参数
5x 10x 20x 50x 100x 150x
Z轴分辨率 5.90 1.50 0.50 0.10 0.07 0.06
数值孔经 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.90
视场1 1894 × 1420 944 × 708 468 × 351 189 × 142 93 × 70 62 x 47
视场2 4697 × 3522 2327 × 1745 1169 × 877 466 × 349 234 × 175 156 x 117
技术参数
性能配置：
数据获取： 小于10秒(200步扫描)
3D扫描： 每秒大于30步
像素分辨率： 0.031μm (1X耦合镜、150X物镜)
Z轴分辨率： 0.002 μm (压电陶瓷载台)
重复性(1σ): 0.006 μm (压电陶瓷载台和防震桌)
标准功能
相机选项： 640x480, 1024x768,
1280x960像素
放大倍率： 45000X (光学加数字)
照明： 双重高亮度白光LED
手动载台： 100mm x 100mm XY移动距离
Z轴移动距离：40mm
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